特許
J-GLOBAL ID：202103000917883859
圧電式アクチュエータ及び圧電式バルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 雅直
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-221198
公開番号（公開出願番号）：特開2018-080709
特許番号：特許第6955137号
出願日： 2016年11月14日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 作動体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、
前記圧電素子の変位を拡大し前記作動体に作用させるべく少なくともバネ要素を一部に含んだ変位拡大機構と、
パルス波形の電圧指令に基づき前記圧電素子に電圧を印加して該圧電素子を伸張させることで前記変位拡大機構を通じて前記作動体を作動させる駆動手段と、を備えてなる圧電式アクチュエータにおいて、
前記バネ要素は、前記圧電アクチュエータを構成するアクチュエータ本体のバネ弾性を構成するものであり、
前記駆動手段は、前記変位拡大機構を動作させる際の前記バネ弾性による機械的な共振周波数の逆関数特性を有する共振抑制処理部としてのノッチフィルタを備えており、このノッチフィルタを通して前記圧電素子に前記パルス波形電圧から前記変位拡大機構の機械的な共振を低減した電圧を印加し、この電圧による圧電素子の変位を変位拡大機構を介して作動体に作用させることで前記アクチュエータ本体の振動を抑制するように構成されていることを特徴とする圧電式アクチュエータ。
IPC (2件)：
B06B 1/06 ( 200 6.01)
, F16K 31/02 ( 200 6.01)
B06B 1/06 A
, F16K 31/02 A
