特許
J-GLOBAL ID：202203004268542799
計測装置、計測システム、移動体、および計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
田▲崎▼ 聡
, 飯田 雅人
, 小林 淳一
, 川越 雄一郎
, 春田 洋孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-127322
公開番号（公開出願番号）：特開2022-163150
出願日： 2022年08月09日
公開日（公表日）： 2022年10月25日
要約：
【課題】試料にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて被照射試料を計測する場合に、計測精度を向上できる計測装置、計測システム、移動体、および計測方法を提供する。
【解決手段】検査対象にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて、検査対象を計測する計測装置は、レーザー光を照射するレーザー装置と、レーザー光の照射箇所との間の距離に基づいて、レーザー光を集光するレーザー集光ユニットの集光レンズ間の距離の調整量を導出する集光位置導出部と、調整量を示す情報を含む制御情報を、レーザー集光ユニットへ送信する通信部とを備える。
【選択図】図4
請求項（抜粋）：
検査対象にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて、前記検査対象を計測する計測装置であって、
前記レーザー光を照射するレーザー装置と、前記レーザー光の照射箇所との間の距離に基づいて、前記レーザー光を集光するレーザー集光ユニットの集光位置の調整量を導出する集光位置導出部と、
前記調整量を示す情報を含む制御情報を、前記レーザー集光ユニットへ送信する通信部とを備える、計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
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欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2011-165218
出願人：公益財団法人レーザー技術総合研究所
審査官引用 (7件)
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引用文献：
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