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J-GLOBAL ID：200902221930530903   Reference number：08A0457987

Processing of Silicon by Direct Irradiation of Laser Beam Transmitted Through Optical Fiber

光ファイバ伝送レーザ光を直接利用したシリコンのレーザアシストエッチング加工

Author (4)： YAMASHITA YOSHINOBU (東京工大 大学院) ,  HOSONO TAKASHI (信州大 工) ,  HIDAI HIROFUMI (東京工大 大学院) ,  TOKURA HITOSHI (東京工大 大学院)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 74  Issue： 5  Page： 463-467  Publication year： May. 05, 2008 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon ,  etching ,  pulsed laser ,  *optical fiber ,  laser beam ,  *laser beam machining ,  pulsed laser irradiation ,  thick plate ,  machining speed ,  potassium hydroxide ,  *wet etching

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Special machining  (QC04000Y) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Reference (13)：

• 横溝精一. 単結晶ダイヤモンドドリルを用いた単結晶シリコンの高品位穴加工. 精密工学会誌. 2006, 72, 2, 234
• 升田雅博. 小径ダイヤモンド電着工具によるアルミナセラミックへの通し穴加工 (第1報). 精密工学会誌. 2005, 71, 1, 105
• 亀岡誠司. CVDダイヤモンドドリルによる単結晶Siの穴あけ加工性能. 精密工学会誌. 2002, 68, 1, 142
• 亀岡誠司. CVDダイヤモンドドリルによる単結晶Siの穴あけ加工の適用. 精密工学会誌. 2002, 30, 10, 1362
• UNO, Yoshiyuki. High efficiency fine boring of monocrystalline silicon ingot byelectrical discharge machining. Precision Engineering. 1999, 23, 126

Terms in the title (6)： 光ファイバ ,  レーザ光 ,  シリコン ,  レーザ ,  アシスト ,  エッチング加工