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J-GLOBAL ID：200903001154119282

物理現象または化学現象に係るポテンシャル測定装置

Inventor：
三村 享

About 三村 享


Applicant, Patent owner：
株式会社堀場製作所

About 株式会社堀場製作所


Agent (5)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦 ,  今木 隆雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005101855
Publication number (International publication number)：2006284250
Application date： Mar. 31, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：
【課題】 デバイスの出力特性のバラツキあるいは経時変化を簡便な方法で補正し、汎用性が高くかつ精度のよい物理現象または化学現象に係るポテンシャル測定装置を提供すること。 【解決手段】 電荷供給部、センシング部、フローティングディフュージョン、を有する少なくとも1つの検出系21と、前記センシング部が当接する試料導入部に設けて前記検出系の測定電位を規定する基準電位設定部26と、を有する測定装置であって、該基準電位設定部26の電位をスキャンして前記検出系21の出力特性を取得し、前記センシング部に供給する電荷量の制御によって該出力特性の立ち上がりREF電圧の調整を行い、前記出力特性を自動的に修正する、制御調整部22を有することを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
電荷をセンシング部に供給する電荷供給部、物理的または化学的な量の大きさに対応して電位が変化するセンシング部、該センシング部に供給された電荷を取出すフローティングディフュージョン、を有する少なくとも1つの検出系と、 前記センシング部が当接する試料導入部に設けて前記検出系の測定電位を規定する基準電位設定部と、を有する測定装置であって、 該基準電位設定部の電位をスキャンして前記検出系の出力特性を取得し、 前記センシング部に供給する電荷量の制御によって該出力特性の立ち上がりREF電圧の調整を行い、 前記出力特性を自動的に修正する、制御調整部を有することを特徴とする物理現象または化学現象に係るポテンシャル測定装置。
IPC (4)：
G01N 27/00 ,  G01D 5/12 ,  H01L 27/14 ,  G01N 27/416
FI (4)：
G01N27/00 Z ,  G01D5/12 Z ,  H01L27/14 Z ,  G01N27/46 341Z
F-Term (23)：
2F077AA49 ,  2F077MM16 ,  2F077VV33 ,  2F077WW08 ,  2G060AF04 ,  2G060AF10 ,  2G060AF15 ,  2G060HA03 ,  2G060HC06 ,  2G060HE01 ,  2G060HE10 ,  2G060JA10 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA22 ,  4M118DA20 ,  4M118DB05 ,  4M118DB06 ,  4M118DB08 ,  4M118DD03 ,  4M118DD04 ,  4M118DD09 ,  4M118DD12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (13)
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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