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J-GLOBAL ID：200903002015714067

研磨パッド、研磨方法および研磨装置

Inventor：
小向 拓治

About 小向 拓治


Applicant, Patent owner：
ニッタ・ハース株式会社

About ニッタ・ハース株式会社


Agent (1)： 岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004316455
Publication number (International publication number)：2005342881
Application date： Oct. 29, 2004
Publication date： Dec. 15, 2005
Summary：
【課題】 研磨スラリーとのなじみがよく、物性の変化や寿命の劣化の低減を図った研磨パッド、それを用いた研磨方法および研磨装置を提供する。 【解決手段】 プラズマを用いた表面処理によって、研磨パッド2の表面の親水性を、内部に比べて高くし、研磨スラリーとのなじみを改善し、研磨速度の向上あるいは研磨スラリーの消費量の低減を図る一方、研磨パッドの材質自体を親水性にした場合に比べて、研磨を中断しているような場合に、水含浸が内部に進行して研磨パッドが膨潤して物性が変化したり、寿命が短くなるといったことを抑制している。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
表面処理によって、表面の親水性を、内部に比べて高めたことを特徴とする研磨パッド。
IPC (2)：
B24B37/00 ,  H01L21/304
FI (2)：
B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F
F-Term (6)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 研磨パッド及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-347410   Applicant：東洋紡績株式会社, 東洋ゴム工業株式会社
Cited by examiner (8)
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