マルチプローブ及びこれを用いた微細加工方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：武石靖彦 , 村田紀子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003103605
Publication number (International publication number)：2004306197
Application date： Apr. 08, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：

【課題】走査型プローブ顕微鏡にそのまま適用することができ、広範囲を一括に、且つ任意位置に高精度なナノ加工を行うことができ、加工後、直接被加工物の表面形状を計測することができる。【解決手段】試料表面の微細な凹凸を計測するプローブ1の側方に、試料加工用チップ21をもつ加工用プローブ2を複数個並設した。また、走査型プローブ顕微鏡の試料ステージ室内に、試料加工用チップ21を備えた加工用プローブ2を試料表面計測用プローブ1の側方に一体的に取り付け、これらプローブ1,2を試料に対してXYZ軸方向に走査するとともに、加工用プローブ2に通電することによって試料の微細加工を行い、併せて計測用プローブ1でその加工表面の計測を行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料表面の微細な凹凸を計測するプローブの側方に、試料加工用チップをもつ加工用プローブを、複数個並設したことを特徴とする走査型マルチプローブ顕微鏡のためのマルチプローブ。

IPC (4)：

B82B3/00 , B81B3/00 , G01B11/24 , G01N13/10

FI (4)：

B82B3/00 , B81B3/00 , G01N13/10 F , G01B11/24 A

F-Term (8)：

2F065AA50 , 2F065AA54 , 2F065CC25 , 2F065GG06 , 2F065JJ11 , 2F065MM07 , 2F065PP04 , 2F065PP24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-156645 Applicant：科学技術振興事業団
表面加工装置および記録装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-244508 Applicant：株式会社日立製作所
位置だし制御法および面合わせ方法およびそれを用いたトンネル顕微鏡および記録再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-346303 Applicant：キヤノン株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

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