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J-GLOBAL ID：200903009983021959

圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法

Inventor：
亀井 宏行

About 亀井 宏行


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007160551
Publication number (International publication number)：2007306015
Application date： Jun. 18, 2007
Publication date： Nov. 22, 2007
Summary：
【課題】圧電特性の均一性を向上することのできる圧電体素子の製造方法の提供。【解決手段】有機金属のゾルを乾燥させる工程と、これを脱脂させる工程とを備え、この脱脂させる工程において、基板512の片面全体をホットプレート100に密着させて基板を加熱する。より具体的には、小孔104を備えた基板吸着式のホットプレートを用いる方法、おもり101により荷重をかける方法がある。また、金属板105上に押し付けて密着させ、基板512の反りを矯正したままホットプレート100上に載せてもよい。更に、ホットプレート100の上にセラミックプレート102を置いたり、電熱線103を用いることにより、熱伝導ではなく輻射熱により加熱してもよい。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
基板上に下部電極を形成する工程と、この下部電極上に有機金属のゾルを塗布する工程と、この有機金属のゾルをゲル化させる工程と、このゲル化した有機金属を結晶化させて圧電体膜を形成する工程と、この圧電体膜上に上部電極を形成する工程とを備える圧電体素子の製造方法であって、 前記有機金属のゾルをゲル化させる工程は、前記有機金属のゾルを乾燥させる工程と、これを脱脂させる工程とを備え、この脱脂させる工程において、基板の片面全体をホットプレートに密着させて基板を加熱する、圧電体素子の製造方法。
IPC (7)：
H01L 41/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C04B 35/638
FI (7)：
H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  C04B35/64 301
F-Term (12)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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