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J-GLOBAL ID：200903011822282668

波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法

Inventor：
中村 亮介

About 中村 亮介

, 
鄭 昌鎬

About 鄭 昌鎬


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社

, 
サンテック株式会社

About サンテック株式会社


Agent (2)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006010522
Publication number (International publication number)：2006235606
Application date： Jan. 18, 2006
Publication date： Sep. 07, 2006
Summary：
【課題】当該波長可変フィルタから出射した光の減衰を防止することができ、また、様々な波長の光に対して波長分離が可能な波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】第1の凹部211を有する固定基板2と、開口部311を有する可動部31を備え固定基板2に接合された可動基板3と、開口部311を覆うように、可動部31に接合された光透過基板4と、固定基板2に設けられた固定反射膜200と、光透過基板4に設けられ、干渉用ギャップ21を介して固定反射膜200と対向配置された可動反射膜210と、可動部31を固定基板2に対して変位させることにより、干渉用ギャップ21の間隔を変更する駆動部とを備え、固定反射膜200と可動反射膜210との間で反射を繰り返し、干渉用ギャップ21の間隔に応じた波長の干渉光を外部に出射し得るよう構成されたことを特徴とする。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
第1の凹部を有する第1の基板と、 前記第1の凹部に対向する位置に開口部を有する可動部と、該可動部を変位可能に支持する支持部とを備え、前記第1の基板に接合された第2の基板と、 前記開口部に対応する部位に位置するように、前記可動部に接合された光透過性を有する第3の基板と、 前記第1の凹部の底部に設けられた固定反射膜と、 前記第3の基板の前記第1の凹部側に設けられ、前記固定反射膜に対し、干渉用ギャップを介して対向配置された可動反射膜と、 前記可動部を前記第1の基板に対して変位させることにより、前記干渉用ギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、 前記固定反射膜と前記可動反射膜との間で反射を繰り返し、干渉を生じさせて前記干渉用ギャップの間隔に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されたことを特徴とする波長可変フィルタ。
IPC (4)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00
FI (4)：
G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00
F-Term (10)：
2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (7)
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