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J-GLOBAL ID:200903012672562159
三次元計測装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
川口 光男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000304350
Publication number (International publication number):2002107125
Application date: Oct. 04, 2000
Publication date: Apr. 10, 2002
Summary:
【要約】【課題】計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測精度の飛躍的な向上を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。【解決手段】印刷状態検査装置1は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板Kを載置するためのテーブル2と、プリント基板Kの表面に対し斜め上方から正弦波状の複数の位相変化する光パターンを照射するための照明装置3と、プリント基板Kからの反射光を波長成分毎に撮像するためのCCDカメラ4とを備えている。CCDカメラ4は、反射光を各光成分毎に分離して一度に撮像する。制御装置7は、撮像データに基づき位相シフト法によりクリームハンダの高さを演算する。このとき、最適な波長成分が採択され、当該採択された波長域でのデータが最適の撮像データとして採択され、当該撮像データに基づく演算が行われる。このため、色調等の影響を最小限に抑えることができる。
Claim (excerpt):
少なくとも計測対象物に対し、互いに異なる複数の波長成分を含み、かつ、縞状の光強度分布を有する光パターンを照射可能な照射手段と、前記光パターンの照射された計測対象物からの反射光を各波長成分毎に分離して撮像し画像データを取得可能な撮像手段と、前記計測対象物と、前記光パターンとの相対位相関係を変化させる位相変化手段と、前記位相変化手段により変化させられた複数通りの相対位相関係下において前記撮像手段にて取得された複数通りの画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えた三次元計測装置であって、前記演算手段は、前記複数の波長成分のうち、最適な波長成分に対応した画像データに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする三次元計測装置。
IPC (2):
G01B 11/24
, H05K 3/34 512
FI (2):
H05K 3/34 512 B
, G01B 11/24 K
F-Term (24):
2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065CC01
, 2F065CC26
, 2F065DD02
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065GG24
, 2F065HH01
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL20
, 2F065LL30
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ21
, 2F065QQ24
, 5E319CD53
, 5E319GG15
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (12)
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3次元形状計測装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-014622
Applicant:松下電工株式会社
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物体の三次元形状計測方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-192452
Applicant:富士ファコム制御株式会社, 富士電機株式会社
-
縞画像処理装置における位相接続方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-313917
Applicant:株式会社応用計測研究所
-
光学的測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-208079
Applicant:株式会社チノー
-
欠陥形状検出方法及びその装置ならびにそれを用いた欠陥修正方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-145413
Applicant:株式会社日立製作所
-
特開平3-013925
-
動的三次元形状計測方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-136544
Applicant:工業技術院長
-
3次元形状測定装置、方法及び記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-326288
Applicant:日本電気株式会社
-
位置決め用マークの検出方法および位置合わせ方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-268677
Applicant:サンエー技研株式会社
-
3次元形状計測方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-168321
Applicant:松下電工株式会社
-
クリーム半田の印刷状態検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-074496
Applicant:シャープ株式会社
-
三次元計測装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-234718
Applicant:シーケーディ株式会社
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