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J-GLOBAL ID：200903012837339840

欠陥検出装置および欠陥検出方法

Inventor：
三 浦 崇 広

About 三 浦 崇 広

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小野寺 徹

About 小野寺 徹

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落 合 誠

About 落 合 誠

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長 方 深

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Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

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東芝プラントシステム株式会社

About 東芝プラントシステム株式会社


Agent (4)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006202299
Publication number (International publication number)：2008026270
Application date： Jul. 25, 2006
Publication date： Feb. 07, 2008
Summary：
【課題】超音波受信機構から照射されるレーザ光を反射体に照射することで、反射体からの戻りのレーザ光の光量を一定とし、これにより、表面が平坦でない検査対象物の表面に発生した欠陥を正確かつ安定して検出できる欠陥検出装置を提供する。【解決手段】欠陥検出装置50は、検査対象物1の表面1aに表面波30または衝撃波32を発生させる超音波励起機構2と、レーザ送光部3aとレーザ受光部3bとを有する超音波受信機構3と、レーザ光35を反射する反射体4と、超音波受信機構3に接続された計測機構7とを備えている。レーザ送光部3aから照射されたレーザ光35は反射体4に反射した後レーザ受光部3bにより受光され、計測機構7はレーザ光35の周波数変化を観測することで検査対象物1の表面1aの欠陥を検出する。これにより、検査対象物1の表面1aに発生した欠陥11を正確かつ安定して検出できる。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
検査対象物の表面に発生した欠陥を検出する欠陥検出装置において、検査対象物の表面に対して表面励起波を照射することにより検査対象物の表面から超音波または衝撃波を発生させる超音波励起機構と、レーザ光を照射するレーザ送光部と、レーザ光を受光するレーザ受光部とを有する超音波受信機構と、レーザ送光部から照射されるレーザ光の光路上に配置され、レーザ光を反射する反射体と、超音波受信機構に接続された計測機構とを備え、レーザ送光部から照射されたレーザ光が反射体に反射するとともに、反射体に反射したレーザ光はレーザ受光部により受光され、検査対象物の表面から発生した超音波または衝撃波は、超音波受信機構と反射体との間のレーザ光の光路上に達し、計測機構は、超音波受信機構のレーザ受光部で受光したレーザ光の周波数変化を観測することにより検査対象物の表面の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (6)：
G01N 29/00 ,  G01N 29/04 ,  G01N 29/28 ,  G01N 29/24 ,  G01N 29/44 ,  G21C 17/003
FI (7)：
G01N29/00 501 ,  G01N29/04 503 ,  G01N29/08 507 ,  G01N29/28 ,  G01N29/24 502 ,  G01N29/22 501 ,  G21C17/00 F
F-Term (27)：
2G047AC01 ,  2G047AD03 ,  2G047BA01 ,  2G047BB06 ,  2G047BC04 ,  2G047BC08 ,  2G047CA04 ,  2G047CB01 ,  2G047CB03 ,  2G047CB06 ,  2G047EA09 ,  2G047EA10 ,  2G047EA11 ,  2G047GA13 ,  2G047GD01 ,  2G047GE01 ,  2G047GF06 ,  2G047GF20 ,  2G047GG27 ,  2G047GG36 ,  2G047GG38 ,  2G047GG46 ,  2G075DA16 ,  2G075FA16 ,  2G075FC14 ,  2G075GA15 ,  2G075GA21
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (17)
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