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J-GLOBAL ID：200903014101042835

静電浮上搬送装置

Inventor：
佐々木 巌

About 佐々木 巌

, 
脇迫 仁

About 脇迫 仁

, 
鈴木 健生

About 鈴木 健生

, 
樋口 俊郎

About 樋口 俊郎


Applicant, Patent owner：
株式会社安川電機

About 株式会社安川電機


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998196262
Publication number (International publication number)：2000025948
Application date： Jul. 10, 1998
Publication date： Jan. 25, 2000
Summary：
【要約】【課題】ガラス基板の静電気を確実に除電でき、ゴミやほこりが付着することのない小型の静電浮上搬送装置を提供する。【解決手段】静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dとガラス基板1のギャップを検出する変位センサ3A、3B、3C、3Dと、変位センサ3A、3B、3C、3Dから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理することによりガラス基板1が目標位置に浮上できるように静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dへの印加電圧を制御する浮上用制御器5と、浮上用制御器5からの制御信号により各々の静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dに印加する電圧を発生する浮上用電圧発生器4とを備えた静電浮上搬送装置において、浮上用電圧発生器4の前段には、静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dに交番電界を印加するための除電信号を発生する除電信号発生器6を設けたものである。
Claim (excerpt)：
絶縁基板上に分離帯を挟んで複数に分割されて配置された正電圧と負電圧が交互に印加される静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向して設けた被搬送物をなすガラス基板と、前記静電浮上用電極と前記ガラス基板とのギャップを検出する変位センサと、前記変位センサから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理すると共に、前記ガラス基板が目標位置に浮上できるように前記静電浮上用電極への印加電圧を制御する浮上用制御器と、前記浮上用制御器からの制御信号により前記各々の静電浮上用電極に印加する電圧を発生する浮上用電圧発生器と、前記ガラス基板を静電吸引力により吸引した後、非接触で保持して搬送を行い、且つ、前記ガラス基板が予定された位置に至ると、ガラス基板を前記静電浮上用電極より離脱させる動作を行う搬送手段と、を備えた静電浮上搬送装置において、前記浮上用電圧発生器の前段に、前記静電浮上用電極に交番電界を印加するための除電信号を発生する除電信号発生器を設けたことを特徴とする静電浮上搬送装置。
IPC (4)：
B65G 49/06 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/68 ,  B65G 54/02
FI (5)：
B65G 49/06 Z ,  B25J 15/06 S ,  B25J 15/06 B ,  H01L 21/68 A ,  B65G 54/02
F-Term (20)：
3F021AA05 ,  3F021BA02 ,  3F021CA04 ,  3F021CA05 ,  3F021DA06 ,  3F061AA01 ,  3F061CA06 ,  3F061CB01 ,  3F061CC00 ,  3F061DB00 ,  3F061DC00 ,  3F061DD01 ,  5F031AA02 ,  5F031CC51 ,  5F031GG12 ,  5F031KK05 ,  5F031KK07 ,  5F031LL03 ,  5F031LL07 ,  5F031MM06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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