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J-GLOBAL ID：200903014745178533

pチャネル電界効果トランジスタ

Inventor： 川原田 洋
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006339732
Publication number (International publication number)：2007086088
Application date： Dec. 18, 2006
Publication date： Apr. 05, 2007
Summary：

【課題】水素と窒素の混合プラズマにより水素終端表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】pチャネル電界効果トランジスタにおいて、液体電解質20をゲートとして使用し、水素と窒素の混合プラズマにより水素終端13表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとする。【選択図】図9

Claim (excerpt)：

液体電解質をゲートとして使用し、水素と窒素の混合プラズマにより水素終端表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタ。

IPC (1)：

G01N 27/414

FI (1)：

G01N27/30 301K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• ダイヤモンド薄膜バイオセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-042211   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• ダイヤモンド電極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-163561   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 電界効果トランジスタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-085947   Applicant：科学技術振興事業団
• 針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-205935   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• チオールの濃度測定法およびそれに用いられるセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-388772   Applicant：株式会社先端科学技術インキュベーションセンター

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ダイヤモンド表面のエレクトロニクス・バイオ応用