特許
J-GLOBAL ID：200903014745178533 pチャネル電界効果トランジスタ
出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構
独立行政法人科学技術振興機構 について
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-339732
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086088
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】水素と窒素の混合プラズマにより水素終端表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】pチャネル電界効果トランジスタにおいて、液体電解質20をゲートとして使用し、水素と窒素の混合プラズマにより水素終端13表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとする。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
液体電解質をゲートとして使用し、水素と窒素の混合プラズマにより水素終端表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタ。
IPC (1件)： FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (5件)
引用文献： - ダイヤモンド薄膜バイオセンサ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平7-042211 出願人：株式会社神戸製鋼所 - ダイヤモンド電極
公報種別：公開公報 出願番号：特願平7-163561 出願人：株式会社神戸製鋼所 - 電界効果トランジスタ
公報種別：公開公報 出願番号：特願2000-085947 出願人：科学技術振興事業団
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審査官引用 (1件)
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