露光装置

Inventor： , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：池田憲保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003402458
Publication number (International publication number)：2005164878
Application date： Dec. 02, 2003
Publication date： Jun. 23, 2005
Summary：

【課題】軽量化された露光装置を提供すること【解決手段】本発明は、マスク1上のパターンを基板5上に転写露光するために、マスク、基板の少なくとも一方をセラミックスによるステージ部材によって移動させながら露光する液晶パネル用露光装置100に適用される。特に、ステージ部材をハニカム構造セラミックス体により構成し、該ハニカム構造セラミックス体の空隙部を四角柱形状とした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

マスク上のパターンを基板上に転写露光するために、前記マスク、前記基板の少なくとも一方をセラミックスによるステージ部材によって移動させながら露光する露光装置において、前記ステージ部材はハニカム構造セラミックス体を含み、該ハニカム構造セラミックス体の空隙部が四角柱形状により構成されていることを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68

FI (3)：

G03F7/20 501 , H01L21/68 N , H01L21/30 503A

F-Term (13)：

2H097BA02 , 2H097CA06 , 2H097LA12 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA08 , 5F031HA57 , 5F031MA27 , 5F031PA11 , 5F046CC01 , 5F046CC08 , 5F046CC11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

ステージ装置および露光装置、ならびにデバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-023277 Applicant：キヤノン株式会社
特許第3260340号公報

Cited by examiner (8)

露光装置用部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-306157 Applicant：東陶機器株式会社
ステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-289109 Applicant：株式会社ニコン
移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-071466 Applicant：株式会社ニコン

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