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J-GLOBAL ID：200903017132952766

形状測定装置及び形状測定方法

Inventor：
村上 洋

About 村上 洋

, 
林 宏充

About 林 宏充


Applicant, Patent owner：
福岡県

About 福岡県


Agent (2)： 中前 富士男 ,  中嶋 和昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007269005
Publication number (International publication number)：2008122370
Application date： Oct. 16, 2007
Publication date： May. 29, 2008
Summary：
【課題】物体に形成された測定対象物の形状を低測定力で高感度かつ高精度で測定が可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供する。【解決手段】基部側に発光器11及び受光器12が設けられ、先端に光を反射する光反射部13が設けられて自由状態で垂直配置された先側領域14を有し、先側領域14の一部の曲げ歪みによって通過光に光量変化を発生させる撓み検知部15が形成された光ファイバ16と、光ファイバ16の先端部に固着配置された探触子17と、光ファイバ16の下方に配置され測定対象物18が形成された物体19を載せるXYテーブル20と、XYテーブル20を相対的に上下するZ方向昇降手段21とを有し、探触子17に測定対象物18を側方から当接させて受光器12での光量変化を検知し、探触子17に測定対象物18が当接した際の探触子17の位置から測定対象物18の二次元形状を測定する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基部側に発光器及び受光器が設けられ、先端に前記発光器から入射した光を反射する光反射部が設けられて自由状態で垂直配置された先側領域を有し、前記光反射部より基側の前記先側領域に該先側領域の一部の曲げ歪みによって通過光に光量変化を発生させる撓み検知部が形成された光ファイバと、 前記光ファイバの先端部に固着配置された探触子と、 前記探触子が設けられた前記光ファイバの下方に配置され、測定対象物が形成された物体を載せるXYテーブルと、 前記探触子が設けられた前記光ファイバの少なくとも前記先側領域に対して前記XYテーブルを相対的に上下するZ方向昇降手段とを有し、 前記探触子に対して前記XYテーブルに載せた前記物体に形成された前記測定対象物を側方から当接させて前記受光器で受光する光の光量変化を検知し、前記探触子が前記測定対象物に当接した際の該探触子の位置を前記XYテーブルから読み出して、前記測定対象物の二次元形状を測定することを特徴とする形状測定装置。
IPC (2)：
G01B 5/012 ,  G01B 5/20
FI (2)：
G01B5/012 ,  G01B5/20 C
F-Term (13)：
2F062AA51 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF04 ,  2F062FF05 ,  2F062FF14 ,  2F062FF15 ,  2F062GG77 ,  2F062HH01 ,  2F062HH13 ,  2F062HH21 ,  2F062JJ00 ,  2F062MM02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (7)
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