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J-GLOBAL ID：200903019381428379

欠陥検査方法,欠陥検査装置及び欠陥検査支援方法

Inventor：
浅野 敏郎

About 浅野 敏郎

, 
酒井 薫

About 酒井 薫

, 
田口 哲夫

About 田口 哲夫

, 
田中 勲夫

About 田中 勲夫


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999067091
Publication number (International publication number)：2000258398
Application date： Mar. 12, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：
【要約】【課題】 画像による目視検査での欠陥候補の確認をし易くし、欠陥の見逃しなどをなくして欠陥検査の信頼性を高める。【解決手段】 ここでは、試験体1に紫外線を照明し、割れ欠陥2aで蛍光を発光させる磁粉探傷法による欠陥検査であるが、かかる試験体1の表面を、紫外線カットフィルタ5を介して、カラーテレビカメラ3で撮像する。カラービデオカメラ3から出力されるR,G,B信号による原画像は、画像メモリ7に一旦格納される。この原画像はカラーモニタ9で表示されるとともに、コンピュータ8はG画像を処理して欠陥候補を検出し、カラーモニタ9に表示される原画像中の欠陥候補毎に欠陥候補マーカを付加表示させる。検査者は、この欠陥候補マーカでもって原画像中の欠陥候補を知り、この欠陥候補に対して真の割れ欠陥か擬似欠陥かを目視確認する。原画像と検査結果はデータ記憶装置11に格納される。
Claim (excerpt)：
磁粉探傷法による欠陥検査方法において、カラーテレビカメラを用いて検査対象の試験体を撮像することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (2)：
G01N 27/84 ,  G01N 21/91
FI (2)：
G01N 27/84 ,  G01N 21/91 B
F-Term (20)：
2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC22 ,  2G051BA05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051ED04 ,  2G051FA04 ,  2G051GC04 ,  2G051GC17 ,  2G051GD01 ,  2G053AA11 ,  2G053AB22 ,  2G053BA12 ,  2G053BA15 ,  2G053BB08 ,  2G053CB24 ,  2G053CB27 ,  2G053CB29
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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