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J-GLOBAL ID：200903027098524895

紫外線結像光学系

Inventor：
丸山 晃一

About 丸山 晃一

, 
岩城 真

About 岩城 真


Applicant, Patent owner：
旭光学工業株式会社

About 旭光学工業株式会社


Agent (1)： 三浦 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994321035
Publication number (International publication number)：1996179203
Application date： Dec. 22, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 レンズ系の一部のみを動かすことによってフォーカシングができ、フォーカシング機構を小型化できる紫外線結像光学系を得ること、専用の測定系を要することなく、レンズ性能を容易に評価することができる紫外線結像光学系を得ること。【構成】 紫外線光源からの発散光束を平行光束化するコリメートレンズと;このコリメートレンズから出射された平行光束を結像する結像レンズと;を備えており、かつ、このコリメートレンズは、結像レンズ側の後側焦点が、該コリメートレンズの平行光束射出側の最終面より結像レンズ側に位置し、結像レンズは、コリメートレンズ側の前側焦点が該結像レンズ中に位置している紫外線結像光学系。
Claim (excerpt)：
紫外線光源からの光束を平行光束化するコリメートレンズと;このコリメートレンズから出射された平行光束を結像する結像レンズと;を備え、上記コリメートレンズは、結像レンズ側の後側焦点が、該コリメートレンズの平行光束射出側の最終面より結像レンズ側に位置し、上記結像レンズは、コリメートレンズ側の前側焦点が該結像レンズ中に位置していることを特徴とする紫外線結像光学系。
IPC (2)：
G02B 13/14 ,  G02B 13/22
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
  • 特開平4-214516
  • 縮小投影レンズ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-281223   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 投影レンズ系
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-116791   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
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