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J-GLOBAL ID：200903028118636977

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
宮崎 大地

About 宮崎 大地

, 
三好 一登

About 三好 一登

, 
奥田 良治

About 奥田 良治


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006255438
Publication number (International publication number)：2007114763
Application date： Sep. 21, 2006
Publication date： May. 10, 2007
Summary：
【課題】高感度で現像時の膜減りが少なく、0.7μm以下の薄い膜厚であっても現像マージンの広いポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、ナフトキノンジアジド化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂を固形分39重量%でγ-ブチロラクトンに溶解した溶液をシリコンウェハー上に塗布し、120°Cで4分間プリベークを行って膜厚10μm±0.5μmのプリベーク膜を形成し、該プリベーク膜を23±1°Cの2.38重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に3分間浸漬したときの溶解速度が200nm/分以上500nm/分以下であって、かつ前記ナフトキノンジアジド化合物のエステル化率が85%以上97%以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂、ナフトキノンジアジド化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂を固形分39重量%でγ-ブチロラクトンに溶解した溶液をシリコンウェハー上に塗布し、120°Cで4分間プリベークを行って膜厚10μm±0.5μmのプリベーク膜を形成し、該プリベーク膜を23±1°Cの2.38重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に3分間浸漬したときの溶解速度が200nm/分以上500nm/分以下であって、かつ前記ナフトキノンジアジド化合物のエステル化率が85%以上97%以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (3)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 504 ,  H01L21/30 502R
F-Term (10)：
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB52 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (4)
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