微小開口の形成方法と微小開口を有する突起、及びそれらによるプローブまたはマルチプローブ、並びに該プローブを用いた表面観察装置、露光装置、情報処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長尾達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997244807
Publication number (International publication number)：1999064350
Application date： Aug. 26, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、微小な開口を再現性良く形成でき、また、基板上に集積化が容易で、複数の微小開口を形成したときに開口径のばらつきが小さく、バッチプロセスでの形成により生産性の高い微小開口の形成方法と微小開口を有する突起、及びそれらによるプローブまたはマルチプローブ、並びに該プローブを用いた表面観察装置、露光装置、情報処理装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の微小開口の形成方法と微小開口を有する突起は、基板に薄膜層よりなる突起または凹部を形成し、該突起の表面または該凹部の裏面に膜厚調整層をその膜厚が周囲よりも薄くなるように堆積し、該膜厚調整層をエッチングすることにより該突起または該凹部の先端部を露出させ、その露出した先端部をエッチングして該部に微小開口を形成することを特徴とするものであり、また、これらによってプローブまたはマルチプローブを形成すると共に、該プローブを用いた表面観察装置、露光装置、情報処理装置を提供することを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

微小開口の形成方法であって、基板に薄膜層よりなる突起または凹部を形成し、該突起の表面または該凹部の裏面に膜厚調整層をその膜厚が周囲よりも薄くなるように堆積し、該膜厚調整層をエッチングすることにより該突起または該凹部の先端部を露出させ、その露出した先端部をエッチングして該部に微小開口を形成することを特徴とする微小開口の形成方法。

IPC (7)：

G01N 37/00 , C23F 4/00 , G01B 11/30 , G01B 21/30 , G11B 9/00 , H01J 37/28 , H01L 21/027

FI (7)：

G01N 37/00 E , C23F 4/00 Z , G01B 11/30 Z , G01B 21/30 Z , G11B 9/00 , H01J 37/28 X , H01L 21/30 502 P

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

カンチレバーおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-329878 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
光学素子、光学素子の作成方法、情報記録再生装置および走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-010916 Applicant：株式会社日立製作所
原子間力顕微鏡用プローブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-323164 Applicant：株式会社ニコン

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