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J-GLOBAL ID:200903034322003606
半導体レーザ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999055021
Publication number (International publication number):2000252586
Application date: Mar. 03, 1999
Publication date: Sep. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 埋込再成長を行う際に結晶成長しない部分を生じにくくして半導体レーザの導波損失を小さくする。【解決手段】 n型GaAs基板1の上に、n型GaAsバッファ層2、n型クラッド層3、活性層4、p型クラッド層5、n型のAl0.5In0.5Pからなる第1電流ブロック層13、n型のAl0.5In0.5Pからなる第2電流ブロック層14を順次形成し、選択的に第1電流ブロック層13および第2電流ブロック層14をストライプ状にエッチングした上部に、p型埋込層7とコンタクト層8とキャップ層9とを順次形成する。キャップ層9の上にp電極10、n型GaAs基板1の裏面にn電極11をそれぞれ形成する。第1電流ブロック層13のキャリア濃度は1×1017cm-3以下であり、第2電流ブロック層14のキャリア濃度は1×1018cm-3である。
Claim (excerpt):
n型の導電型を有する基板と、この基板の上に順次形成された、n型の導電型を有するn型クラッド層と、活性層と、p型の導電型を有するp型クラッド層と、一部がストライプ状に除去された電流ブロック構造とを有し、この電流ブロック構造は、前記p型クラッド層に最も近くかつn型の導電型を有する第1電流ブロック層と、この第1電流ブロック層の上に形成され、かつn型の導電型を有する第2電流ブロック層とを含む少なくとも2層の電流ブロック層を有し、前記第1電流ブロック層のキャリア濃度をN1(cm<SP>-3</SP>)、前記第2電流ブロック層のキャリア濃度をN2(cm<SP>-3</SP>)としたとき、N1<N2であることを特徴とする半導体レーザ。
IPC (2):
FI (2):
H01S 3/18 664
, G11B 7/125 A
F-Term (13):
5D119AA33
, 5D119FA05
, 5D119FA17
, 5D119NA04
, 5F073AA20
, 5F073AA45
, 5F073AA74
, 5F073BA06
, 5F073CA07
, 5F073CA14
, 5F073CB02
, 5F073CB22
, 5F073EA23
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (14)
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半導体レーザ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-231192
Applicant:ローム株式会社
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半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-050054
Applicant:シャープ株式会社
-
半導体レーザ素子およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-011703
Applicant:シャープ株式会社
-
半導体レーザ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-041204
Applicant:三洋電機株式会社
-
特開平2-154472
-
特開平4-162483
-
AlGaInP半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-020245
Applicant:日本電気株式会社
-
半導体多層膜の形成方法および半導体レーザの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-156522
Applicant:松下電器産業株式会社
-
特開平3-027584
-
半導体レーザの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-245604
Applicant:松下電器産業株式会社
-
光デバイスの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-276603
Applicant:キヤノン株式会社
-
半導体発光素子およびその製法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-128187
Applicant:ローム株式会社
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特開昭62-213189
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特開昭62-186582
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