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J-GLOBAL ID：200903035695932859

反応器、マイクロリアクタチップ、及びマイクロリアクタシステム、並びに反応器の製造方法

Inventor：
篠原 陽子

About 篠原 陽子

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新荻 正隆

About 新荻 正隆

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山本 三七男

About 山本 三七男

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加藤 玄樹

About 加藤 玄樹


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツル株式会社

About セイコーインスツル株式会社


Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005312290
Publication number (International publication number)：2006234791
Application date： Oct. 27, 2005
Publication date： Sep. 07, 2006
Summary：
【課題】 水晶振動子に残留応力や不要な振動モードが発生せず、高感度が維持できる反応器およびマイクロリアクタチップ、マイクロリアクタシステムを提供する。【解決手段】 ATカット水晶ウェハ100両面に金を蒸着もしくはスパッタして、検出電極601、対向電極602および各電極への配線を作成し、洗浄したシリコンウェハ上にレジストを形成し、ポリジメチルシロキサン(PDMS)をその上に流して硬化させ、PDMSとシリコンウェハとを剥離させ、PDMSに溝(反応槽)500を形成する。水晶ウェハとPDMSとを重ね合わせた後、水晶基板側から紫外線を照射すると、水晶とPDMSのケイ素と炭素のボンドが切れ、水晶とPDMSとがシロキサン結合により接合し、液導入口および液排出口を切断して形成し、反応器を製造する。この反応器の構造を応用してマイクロリアクタチップ及びマイクロリアクタシステムを構成した。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
被測定試料を流す流路と、該流路に接続され、前記被測定試料に含有する特定物質を捕獲する捕獲手段を有する反応槽と、前記捕獲手段により捕獲した前記被測定試料に含有する特定物質の物理量を測定する液相センサとからなる反応器において、 前記反応槽は、凹部を有し珪素含有物と化学結合する材質からなる基板と、該凹部を覆い前記基板と前記化学結合により接合する水晶基板とからなり、 前記液相センサは、前記水晶基板面上に設けられ、前記捕獲手段が形成された電極とからなる水晶振動子と、該電極に接続され前記水晶振動子の周波数変化を測定する周波数測定手段とからなることを特徴とする反応器。
IPC (4)：
G01N 5/02 ,  G01N 35/08 ,  G01N 37/00 ,  B01J 19/00
FI (4)：
G01N5/02 A ,  G01N35/08 A ,  G01N37/00 101 ,  B01J19/00 321
F-Term (16)：
2G058DA07 ,  2G058EC07 ,  2G058GA20 ,  4G075AA39 ,  4G075AA65 ,  4G075BA10 ,  4G075BD05 ,  4G075BD15 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075EE12 ,  4G075FA05 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (16)
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Cited by examiner (16)
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