ガスセンサ用ガス感応膜の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢作和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002372935
Publication number (International publication number)：2004205294
Application date： Dec. 24, 2002
Publication date： Jul. 22, 2004
Summary：

【課題】応答性に優れるガスセンサ用ガス感応膜の製造方法を提供すること。【解決手段】分散剤13により被覆されたナノメータオーダの粒子11を溶媒12中に分散させることにより、粘度が1〜20mPa・sに調整されたインク10を製造するインク製造工程と、当該インク10をインクジェット装置20によりシリコン基板2に吐出し、当該基板2上に所望のインクパターン5aを形成するパターン形成工程と、加熱によりインクパターン5aを焼結し、ガス感応膜5を形成する加熱工程とを備える。焼成後のガス感応膜5が、より薄く形成されることとなるので、応答性に優れたガスセンサ用のガス感応膜5を形成することができる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

基板上に、金属酸化物からなる粒子を焼結してなるガスセンサ用ガス感応膜の製造方法において、表面を分散剤により被覆されたナノメータオーダの粒径を有する前記粒子を溶媒中に所定量分散させることにより、粘度が1〜20mPa・sに調整されたインクを製造するインク製造工程と、当該インクをインクジェット装置により前記基板上に吐出し、当該基板上に所望のインクパターンを形成するパターン形成工程と、加熱により前記インクパターンを焼結し、前記ガス感応膜を形成する加熱工程とを備えることを特徴とするガスセンサ用ガス感応膜の製造方法。

IPC (1)：

G01N27/12

FI (1)：

G01N27/12 C

F-Term (21)：

2G046AA01 , 2G046AA11 , 2G046AA13 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BE03 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA18 , 2G046FB02 , 2G046FE03 , 2G046FE15 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G046FE46 , 2G046FE48 , 2G046FE49

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

無水アンチモン酸亜鉛半導体ガスセンサー及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-059430 Applicant：日産化学工業株式会社
湿度センサ素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-027779 Applicant：ティーディーケイ株式会社
貴金属分散酸化チタン薄膜の製造方法及びガスセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-280855 Applicant：ファインセラミックス技術研究組合

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