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J-GLOBAL ID：200903041851160209

走査型プローブ顕微鏡を用いた液中試料観察方法

Inventor：
中村 直樹

About 中村 直樹


Applicant, Patent owner：
トヨタ自動車株式会社

About トヨタ自動車株式会社


Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001093533
Publication number (International publication number)：2002286614
Application date： Mar. 28, 2001
Publication date： Oct. 03, 2002
Summary：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡を用いる液中試料観察方法において、安定な画像を得る。【解決手段】 先端にプローブを配置したカンチレバーと、光源と、検知器とを備えた走査型プローブ顕微鏡を用い、液中の試料にプローブを接近させ、プローブと試料の間の相互作用に基づいて試料表面の表面画像を得て試料を観察する方法において、前記試料が浸されている液体の表面にこの液体の揮発を防止する手段を施しておく、又は前記試料が浸されている液体の表面上にこの液体と混和しない絶縁性液体の層を設け、前記プローブの先端部のみを前記試料が浸されている液体に入れ、前記プローブの他の部位を前記絶縁性の液体で覆う、又は光源からの光を、前記試料が浸されている液体と大気との界面を通過させることなく、前記液体中で前記カンチレバーにあて、かつ反射光を液体中で補足する。
Claim (excerpt)：
先端にプローブを配置したカンチレバーと、このカンチレバーに光を当てる光源と、カンチレバーからの反射光を検知する検知器とを備えた走査型プローブ顕微鏡を用い、液中の試料にプローブを接近させて対向配置し、プローブと試料の間の相対位置を変化させ、プローブと試料の間の相互作用に基づいて試料表面の表面画像を得て試料を観察する方法において、前記試料が浸されている液体の表面にこの液体の揮発を防止する手段を施しておくことを特徴とする、液中試料観察方法。
IPC (6)：
G01N 13/10 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/16 ,  G12B 21/08
FI (6)：
G01N 13/10 D ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/12 A ,  G01N 13/16 A ,  G12B 1/00 601 D
F-Term (18)：
2F063AA43 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063PA05 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069KK05 ,  2F069LL03 ,  2F069MM34
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
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