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J-GLOBAL ID：200903041964499326

イオンビーム走査システム及び該システムの操作方法

Inventor：
ゲルハルト クラフト

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ウルリッチ ウェバー

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Applicant, Patent owner：
ジー エス アイ ゲゼルシャフト フュア シュベールイオーネンフォルシュンク エム ベー ハー

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Agent (1)： 庄司 隆
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000600278
Publication number (International publication number)：2002542457
Application date： Feb. 11, 2000
Publication date： Dec. 10, 2002
Summary：
【要約】本発明は、イオン源装置と、イオン加速システムと、収束集中イオンビームのためのイオンビーム放出ウィンドウ及び走査される標的体積のための機械的なアラインメントシステムを備えるイオンビーム誘導システムとを有するイオンビーム走査システムに関する。この目的から、イオン加速システムは、最高の透過深度を得るために必要なイオン加速に設定できる。この走査システムは更に、標的体積とイオンビーム放出ウィンドウとの間のイオンビームの経路に配置され、イオンビームの中心を横断するエネルギー吸収手段を有する。このエネルギー吸収手段は、イオンビームのエネルギーを変化させるために、イオンビームの中心を横断して移動可能であるため、標的体積において、イオンビームの深度調節が可能となり、これはリニアモータとエネルギー吸収手段の横断移動とにより達成され、標的体積の体積要素の深度差走査が迅速に連続して行われる。本発明は更に、イオンビーム走査の方法と、ガントリシステムを使用するイオンビーム走査システムを操作する方法に関する。
Claim (excerpt)：
イオン源装置と、イオン加速システムと、収束集中イオンビーム(3)のためのイオンビーム放出ウィンドウ(2)及び走査される標的体積(5)のための機械的なアラインメントシステム(4)を備えるイオンビーム誘導システム(1)と、を有するイオンビーム走査システムであって、 前記イオン加速システムが、最大透過深度を得るのに必要なイオンの加速度に設定可能であり、前記走査システム(6)が、イオンビームの中心を横切って標的体積(5)とビーム放出ウィンドウ(2)との間のイオンビームの経路内に配置されると共にイオンビームのエネルギーを変化させるためにイオンビームの中心を横切って移動可能なエネルギー吸収手段(7)を備え、その結果、エネルギー吸収手段(7)の横断移動と共にリニアモータ(8)により、標的体積(5)においてイオンビームの深度調節を実施することが可能であり、以って標的体積(5)の体積要素(9)の深度差走査を迅速に連続して実施し得ることを特徴とするイオンビーム走査システム。
IPC (4)：
G21K 5/04 ,  A61N 5/10 ,  G21K 3/00 ,  G21K 5/00
FI (4)：
G21K 5/04 A ,  A61N 5/10 H ,  G21K 3/00 S ,  G21K 5/00 A
F-Term (7)：
4C082AA01 ,  4C082AC04 ,  4C082AE01 ,  4C082AG02 ,  4C082AG51 ,  4C082AP03 ,  4C082AP06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (13)
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Cited by examiner (16)
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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