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J-GLOBAL ID：200903050506069095

試料保持体、試料検査方法及び試料検査装置並びに試料検査システム

Inventor：
須 賀 三 雄

About 須 賀 三 雄

, 
西 山 英 利

About 西 山 英 利


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006184225
Publication number (International publication number)：2008016249
Application date： Jul. 04, 2006
Publication date： Jan. 24, 2008
Summary：
【課題】 試料中の構成物を選択して効率的に試料検査を行うことができるとともに、当該試料検査を良好に行うことのできる試料保持体、試料検査方法及び試料検査装置並びに試料検査システムを提供する。【解決手段】 電子線が透過する膜11と該膜に対向するベース12との間に設けられた試料保持空間55と、該試料保持空間55に試料を供給するための供給路54とを有する試料保持体において、該供給路54及び該試料保持空間55のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備える。また、電子線が透過する対向配置された2つの膜の間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体において、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備える。【選択図】図17
Claim (excerpt)：
電子線が透過する膜と該膜に対向するベースとの間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備えることを特徴とする試料保持体。
IPC (2)：
H01J 37/20 ,  H01J 37/28
FI (3)：
H01J37/20 A ,  H01J37/28 B ,  H01J37/28 C
F-Term (6)：
5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001DD00 ,  5C033UU03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (11)
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