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J-GLOBAL ID:200903051954379530
半導体装置および半導体発光素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
福島 祥人
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995120281
Publication number (International publication number):1996316581
Application date: May. 18, 1995
Publication date: Nov. 29, 1996
Summary:
【要約】【目的】 GaN系成長層に対する格子不整合率が小さく、かつ格子不整合率の増大を抑制しつつバンドギャップを小さくすることが可能な活性層を有する半導体装置を提供することである。【構成】 サファイア基板1上にGaNバッファ層2、n-GaN層3、n-Al0.15Ga0.85Nクラッド層4、GaN1-Y PY 活性層5、p-Al0.15Ga0.85Nクラッド層6、p-GaN層7およびp-GaN1-Y PY コンタクト層8を順に形成する。活性層の材料としてGaN1-Y PY を用いることによりAl0.15Ga0.85Nクラッド層4,6に対する活性層の格子不整合率を小さくする。p-GaN1-Y PY コンタクト層8をp-GaN層7とp側電極9との間に挿入することにより、p-GaN層7との格子不整合率の増大を抑制しつつ良好なオーミック特性を得る。
Claim (excerpt):
ガリウム、アルミニウムおよびインジウムの少なくとも1つを含む窒化物半導体と、ガリウム、アルミニウムおよびインジウムの少なくとも1つと窒素および燐を含む混晶半導体とのヘテロ構造からなる半導体層を含むことを特徴とする半導体装置。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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特開平4-236477
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半導体素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-141750
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平4-192585
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半導体発光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-189178
Applicant:富士通株式会社
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半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-202477
Applicant:ローム株式会社
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コンタクト抵抗低減層を有する半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-281958
Applicant:三菱化学株式会社
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発光ダイオード
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-025587
Applicant:昭和電工株式会社
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半導体レーザ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-297128
Applicant:富士通株式会社
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コンタクト抵抗低減層を有する半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-281959
Applicant:三菱化学株式会社
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