大気圧プラズマ発生装置及び点火方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石原勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007041351
Publication number (International publication number)：2008204870
Application date： Feb. 21, 2007
Publication date： Sep. 04, 2008
Summary：

【課題】反応管が単一の場合でも複数並列配置されている場合でも、また整合回路などのプラズマ発生用の回路にダメージを与えることなく、簡単かつコンパクトな構成にてプラズマを安定して点火することができる大気圧プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】一端が吹き出し口5として開放された反応管1と、反応管1の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ2又は電極と、反応管1内に他端からガス7を導入するガス供給手段と、アンテナ2又は電極に高周波電圧を印加する高周波電源4とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナ2又は電極を間に挟んで反応管1の一端側と他端側に一対の点火用電極12、13を配置し、一方の点火用電極12を電気的に接地し、他方の点火用電極13を、所定時間高電圧を発生する点火装置14に接続し、反応管1内のアンテナ2に対応したプラズマ発生部を縦貫して点火放電が生じるようにした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

一端が吹き出し口として開放された反応管と、反応管の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ又は電極と、反応管内に他端からガスを導入するガス供給手段と、アンテナ又は電極に高周波電圧を印加する高周波電源とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナ又は電極を間に挟んで反応管の一端側と他端側に一対の点火用電極を配置し、一方の点火用電極を電気的に接地し、他方の点火用電極を、所定時間高電圧を発生する点火装置に接続したことを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。

IPC (2)：

H05H 1/24 , H01L 21/306

FI (2)：

H05H1/24 , H01L21/302 101E

F-Term (6)：

5F004AA16 , 5F004BB11 , 5F004BB13 , 5F004BB28 , 5F004CA07 , 5F004CA08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-303115 Applicant：松下電工株式会社
プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-193415 Applicant：松下電工株式会社

Cited by examiner (8)

誘導結合プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-222999 Applicant：株式会社日立製作所
高周波プラズマヒータおよびその運転方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-073634 Applicant：株式会社日立製作所
誘導結合プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-372680 Applicant：株式会社日立製作所

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