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J-GLOBAL ID：200903056205347225

ポジ型感光性組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001337884
Publication number (International publication number)：2003140344
Application date： Nov. 02, 2001
Publication date： May. 14, 2003
Summary：
【要約】【課題】 エッジラフネスに優れ、スカムが発生しないポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定のスルホニウム塩化合物及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A)カチオン部に水酸基を有し、活性光線又は放射線の照射により酸を発生するスルホニウム塩化合物及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (5)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (15)：
2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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