ポジ型感光性樹脂組成物

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998250050
Publication number (International publication number)：2000010287
Application date： Sep. 03, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、感度、解像力、現像性、残膜率、レジストプロファイルが優れるとともに、現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、活性光線の照射により酸を発生する化合物、含窒素塩基性化合物、並びにフッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線の照射により酸を発生する化合物、(C)含窒素塩基性化合物、並びに(D)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

F-Term (22)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-226175 Applicant：日本合成ゴム株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-261054 Applicant：日本ゼオン株式会社
化学増幅ポジ型レジスト材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-188461 Applicant：信越化学工業株式会社

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