Pat
J-GLOBAL ID：200903056444761807
結晶性ゲル分散コーティング溶液及び結晶性ゲル分散コーティング溶液を用いた薄膜形成方法
Inventor：
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,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中前 富士男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001074712
Publication number (International publication number)：2002275390
Application date： Mar. 15, 2001
Publication date： Sep. 25, 2002
Summary：
【要約】【課題】 ゾル-ゲル法で薄膜形成を行なうに際し、低温焼成で緻密かつ均質な結晶性薄膜を形成することが可能な薄膜形成用の結晶性ゲル分散コーティング溶液及び結晶性ゲル分散コーティング溶液を用いた薄膜形成方法を提供する。【解決手段】 1種以上の金属アルコキシドを0.5mol/L以上の高濃度で溶媒中に溶解させた前駆体溶液を低温で加水分解し、所定温度で所定時間エージング処理して結晶粒子を含む単相の結晶性ゲルを生成させて、結晶性ゲルを溶媒中に分散させてコーティング溶液を作製する第1工程と、コーティング溶液を基板上にコーティングして基板上に結晶性ゲルの被膜層を形成する第2工程と、被膜層を基板と共に焼成して基板上に結晶性薄膜を形成する第3工程とを有する。
Claim (excerpt)：
1種以上の金属アルコキシドを溶解した前駆体溶液をゲル化して得られるゲルを均一に溶媒中に分散させた薄膜形成用のコーティング溶液であって、前記前駆体溶液は前記金属アルコキシドを0.5mol/L以上の高濃度で溶解させて作製され、かつ、前記ゲルは結晶粒子を含む結晶性ゲルであることを特徴とする結晶性ゲル分散コーティング溶液。
IPC (5)：
C09D 1/00
, B05D 3/02
, B05D 7/24 301
, B05D 7/24 302
, C01G 23/00
C09D 1/00
, B05D 3/02 Z
, B05D 7/24 301 E
, B05D 7/24 302 G
, C01G 23/00 C
4D075BB28Z
, 4D075CA21
, 4D075CA48
, 4D075DA06
, 4D075DB14
, 4D075DC18
, 4D075DC21
, 4D075EA10
, 4D075EA19
, 4D075EA31
, 4D075EA60
, 4D075EB01
, 4D075EB13
, 4D075EB47
, 4D075EB56
, 4G047CA07
, 4G047CB06
, 4G047CC02
, 4G047CD02
, 4G047CD08
, 4J038AA011
, 4J038HA211
Cited by examiner (14)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
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日本セラミック協会年会講演予稿集, 20000321, 2000, 80
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日本セラミック協会年会講演予稿集, 20000321, 2000, 80
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