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J-GLOBAL ID：200903059298719320

センサ、及びその製造方法

Inventor：
香取 篤史

About 香取 篤史

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真島 正男

About 真島 正男

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長永 兼一

About 長永 兼一

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高井 康好

About 高井 康好


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 加藤 一男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007267308
Publication number (International publication number)：2008164586
Application date： Oct. 15, 2007
Publication date： Jul. 17, 2008
Summary：
【課題】可動子がある側の構造をシンプルに設計できて、感度を向上することができるセンサを提供することである。【解決手段】センサは、可動に支持された可動子101と、可動子101に対して間隔を隔てて設けられた対向部材103との相対位置関係を検出する。センサでは、対向部材103が、可動子101に対向する対向部分、または対向部分に隣接する隣接部分に、不純物イオン導入部105を有する。不純物イオン導入部105の少なくとも一部が、可動子101と対向する面側と反対側の面に形成され、反対側の面から電気配線が取り出されている。【選択図】図1-1
Claim (excerpt)：
可動子と、前記可動子に対して間隔を隔てて設けられた対向部材との相対位置関係を検出するセンサであって、 前記対向部材が、前記可動子に対向する対向部分、または前記対向部分に隣接する隣接部分に、不純物イオン導入部を有し、 前記不純物イオン導入部の少なくとも一部が、前記可動子と対向する面側と反対側の面に形成され、前記反対側の面から電気配線が取り出されていることを特徴とするセンサ。
IPC (6)：
G01P 15/08 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/12 ,  G01P 9/04 ,  G01C 19/56 ,  H01L 29/84
FI (7)：
G01P15/08 P ,  G01P15/125 Z ,  G01P15/12 E ,  G01P9/04 ,  G01C19/56 ,  H01L29/84 C ,  H01L29/84 Z
F-Term (18)：
2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA03 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA10 ,  4M112DA12 ,  4M112DA18 ,  4M112FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特開平4-25764号公報
  • 角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-152334   Applicant：株式会社村田製作所
Cited by examiner (14)
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