微細加工ガラス及びその加工法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光 , 高松猛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006191795
Publication number (International publication number)：2008019123
Application date： Jul. 12, 2006
Publication date： Jan. 31, 2008
Summary：

【課題】ガラスの表面または内部に対し微細なパターンを高精度で効率良く、低コストで形成する。【解決手段】特定のガラス形成酸化物と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移元素及び希土類元素から選ばれる少なくとも1種とを含有するガラス母体に、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、バナジウム、銅から選ばれる少なくとも1種を添加してなるガラスの表面または内部に、局所的な異質層を形成した後、エッチング剤と接触させて前記異質層または該異質層の周囲部分を除去することを特徴とするガラス材料の加工法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

SiO2、GeO2、B2O3、P2O5、TeO2、Ga2O3、MoO3及びWO3から選ばれる少なくとも1種のガラス形成酸化物と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移元素及び希土類元素から選ばれる少なくとも1種とを含有するガラス母体に、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、バナジウム、銅から選ばれる少なくとも1種を添加してなるガラスの表面または内部に、局所的な異質層を形成した後、エッチング剤と接触させて前記異質層または該異質層の周囲部分を除去することを特徴とするガラス材料の加工法。

IPC (7)：

C03C 15/00 , C03C 23/00 , C03C 14/00 , G02B 6/13 , G02B 6/12 , G02B 3/00 , G02B 1/02

FI (7)：

C03C15/00 G , C03C23/00 D , C03C14/00 , G02B6/12 M , G02B6/12 N , G02B3/00 Z , G02B1/02

F-Term (105)：

2H147EA02C , 2H147EA14C , 2H147EA32C , 2H147EA37C , 2H147EA39C , 2H147FA24 , 2H147FA27 , 2H147FB02 , 2H147FB03 , 2H147FC03 , 2H147FE03 , 2H147FF01 , 2H147FF02 , 2H147FF07 , 2H147GA10 , 4G059AA11 , 4G059AB01 , 4G059AB05 , 4G059AB09 , 4G059AC30 , 4G059BB12 , 4G062AA04 , 4G062BB01 , 4G062BB10 , 4G062CC09 , 4G062CC10 , 4G062DA01 , 4G062DA02 , 4G062DA10 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DC02 , 4G062DD01 , 4G062DD02 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA02 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062EC02 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EF02 , 4G062EG01 , 4G062EG02 , 4G062EG05 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FB02 , 4G062FB04 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FD02 , 4G062FD05 , 4G062FD06 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FG02 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FK02 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA02 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GD02 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH06 , 4G062HH07 , 4G062HH08 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH12 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062KK01 , 4G062KK02 , 4G062KK03 , 4G062KK04 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062MM12 , 4G062NN40 , 4G062QQ08 , 4G062QQ20

Patent cited by the Patent：

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