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J-GLOBAL ID:200903062172739955
脆性材料の割断加工方法およびその装置、並びに電子部品の製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐々木 宗治 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001356476
Publication number (International publication number):2003154517
Application date: Nov. 21, 2001
Publication date: May. 27, 2003
Summary:
【要約】【課題】 亀裂の起点となる加工始点を精度よく形成して、被加工物に対する割断精度の向上を図ることのできる割断加工方法およびその装置、並びに電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】 被加工物1に設けられた加工始点7aを起点として、亀裂を熱源4により発生させ、さらに割断予定線12に沿って進展させて、被加工物1を割断する割断加工方法およびその装置、並びに電子部品の製造方法であって、加工始点7aを超短パルスレーザ4を照射して形成する割断加工方法および装置、並びに電子部品の製造方法である。
Claim (excerpt):
被加工物に設けられた加工始点を起点として、亀裂を熱源により発生させ、さらに割断予定線に沿って進展させて、前記被加工物を割断する割断加工方法であって、前記加工始点を超短パルスレーザを照射して形成することを特徴とする割断加工方法。
IPC (7):
B28D 5/00
, B23K 26/00
, B23K 26/00 320
, C03B 33/09
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, B23K101:36
FI (7):
B28D 5/00 Z
, B23K 26/00 N
, B23K 26/00 320 E
, C03B 33/09
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, B23K101:36
F-Term (25):
2H088FA07
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088MA20
, 2H090JC02
, 2H090JC13
, 3C069AA02
, 3C069AA03
, 3C069BA08
, 3C069CA03
, 3C069CA11
, 3C069EA01
, 3C069EA02
, 4E068AE00
, 4E068CA01
, 4E068CA03
, 4E068CA04
, 4E068CE02
, 4E068DA09
, 4E068DB12
, 4E068DB13
, 4G015FA06
, 4G015FB01
, 4G015FC05
, 4G015FC14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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特公平3-013040
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割断加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-168478
Applicant:双栄通商株式会社, 長崎県, 科学技術振興事業団
-
基板の加工方法及びその加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-356156
Applicant:日立電線株式会社
-
チップ部品の加工方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-014091
Applicant:日立電線株式会社
-
レーザー誘起破壊及び切断形状を制御する方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平7-526364
Applicant:ザリージェンツオブザユニバーシティーオブミシガン
-
超精密加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-162265
Applicant:三菱重工業株式会社
-
微細加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-183615
Applicant:財団法人神奈川科学技術アカデミー
-
レーザ加工装置およびレーザ加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-025974
Applicant:キヤノン株式会社
-
レーザ加工方法、レーザ加工物の製造方法及びクリーニング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-115720
Applicant:富士ゼロックス株式会社
-
レーザ加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-094677
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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