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J-GLOBAL ID:200903063623557194

ポジ型感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 萩野 平 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994193356
Publication number (International publication number):1996062844
Application date: Aug. 17, 1994
Publication date: Mar. 08, 1996
Summary:
【要約】【目的】 高い感光性を有し、かつ広範囲の波長光での使用が可能であり、露光部と未露光部との溶解性の差が大きく、現像ラチチュードが高く、画像部(未露光部)の皮膜性が高く、インク、溶剤等への耐性が高いポジ型感光性組成物を提供することにある。【構成】 少なくとも(a)酸により分解可能な-O-C-O-、-O-C-S-及び-S-C-S-の少なくとも1つの構造単位を有する3次元架橋樹脂と、(b)活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物とを含有する。
Claim (excerpt):
少なくとも(a)酸により分解可能な下記構造単位(I)、(II)及び(III)の少なくとも1つを有する3次元架橋樹脂と、(b)活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物とを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 、R2 はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールオキシ基を表す。
IPC (6):
G03F 7/039 501 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (10)
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Cited by examiner (13)
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