力変位センサ付カンチレバー

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995293148
Publication number (International publication number)：1997133691
Application date： Nov. 10, 1995
Publication date： May. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】高感度な力変位センサを集積した、原子間力顕微鏡等に用いられるカンチレバーを提供する。【解決手段】カンチレバーの力変位の検出に、圧電体に櫛形電極を設けた弾性表面波素子(SAW)を利用した共振器を使った。

Claim (excerpt)：

一端が支持台に固定されている片持ち梁構造のレバーと、レバーの先端に針状のチップと、レバーの変位を検出する検出部とからなり、この検出部が圧電体と金属電極からなる弾性表面波素子(SAW)であることを特徴とするカンチレバー。

IPC (3)：

G01N 37/00 , H01J 37/28 , H01L 41/09

FI (3)：

G01N 37/00 G , H01J 37/28 Z , H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (11)

プローブ加振機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-323552 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
圧電体-半導体複合基板の製造方法とそれを用いた圧電デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-316353 Applicant：松下電器産業株式会社
干渉計および光走査型トンネル顕微鏡および光集積回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-200393 Applicant：株式会社日立製作所

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Cited by examiner (2)

圧電体-半導体複合基板の製造方法とそれを用いた圧電デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-316353 Applicant：松下電器産業株式会社
プローブ加振機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-323552 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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