アライメントマークとしての2元正弦サブ波長回折格子

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006308751
Publication number (International publication number)：2007142419
Application date： Nov. 15, 2006
Publication date： Jun. 07, 2007
Summary：

【課題】アライメントデバイスに2次元フォトニック結晶を応用すること。【解決手段】本発明は基板上で使用するためのアライメントマークに関し、そのアライメントマークは周期的な2次元アレイの構造から成り、この構造の間隔はアライメント放射ビームよりも小さいが、露光ビームよりも大きく、さらにその構造の幅はアレイの一端から他端に正弦的に変化する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

周期的なアレイの構造を含むアライメントマークを表面上に設けた基板であって、前記周期的なアレイは第1および第2の端部を有し、前記周期的なアレイの構造はアライメント放射ビームの波長よりも小さいピッチを有し、前記周期的なアレイの構造の幅は、局所位相が該周期的なアレイの前記第1の端部から前記第2の端部まで正弦的に変化するように周期内で変化する、基板。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 9/00

FI (2)：

H01L21/30 522D , G03F9/00 H

F-Term (3)：

5F046EA07 , 5F046EA30 , 5F046EB01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

欧州特許第1260870号明細書
欧州特許第0997782号明細書
欧州特許第1260869号明細書

Cited by examiner (8)

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