Pat
J-GLOBAL ID：200903066258695166

光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット

Inventor：
三島 昭史

About 三島 昭史

, 
真嶋 宗位

About 真嶋 宗位

, 
小見山 昌三

About 小見山 昌三


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (2)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005119135
Publication number (International publication number)：2006299307
Application date： Apr. 18, 2005
Publication date： Nov. 02, 2006
Summary：
【課題】レーザー光により情報の記録、再生、記録および再生、さらに消去を行う光記録媒体の保護膜を形成するための異常放電発生の少ないスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】モル%で、酸化亜鉛:10〜30%、酸化ガリウム:1〜15%、酸化インジウム:1〜15%、二酸化珪素:1〜5%を含有し、さらに必要に応じて酸化アルミニウム:0.05〜2%を含有し、残部:硫化亜鉛および不可避不純物からなる組成、並びに素地中に最大粒径:15μm以下かつ平均粒径:0.5〜3μmの範囲内にある二酸化珪素が分散している光記録媒体の保護膜形成用スパッタリングターゲット。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
モル%で、酸化亜鉛:10〜30%、酸化ガリウム:1〜15%、酸化インジウム:1〜15%、二酸化珪素:1〜5%を含有し、残部:硫化亜鉛および不可避不純物からなる組成を有することを特徴とする光記録媒体の保護膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (6)：
C23C 14/34 ,  G11B 7/254 ,  G11B 7/257 ,  G11B 7/24 ,  G11B 7/26 ,  C04B 35/547
FI (5)：
C23C14/34 A ,  G11B7/24 534K ,  G11B7/24 535G ,  G11B7/26 531 ,  C04B35/00 T
F-Term (21)：
4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA37 ,  4G030AA56 ,  4G030GA24 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4K029AA11 ,  4K029BA51 ,  4K029BA64 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC24 ,  4K029DC34 ,  5D029LA14 ,  5D029LA19 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE11 ,  5D121EE14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (8)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM