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J-GLOBAL ID：200903069896091056

欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置

Inventor：
岡部 浩史

About 岡部 浩史

, 
松本 俊彦

About 松本 俊彦


Applicant, Patent owner：
オムロン株式会社

About オムロン株式会社


Agent (3)： 鈴木 由充 ,  小石川 由紀乃 ,  新田 研太
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006062505
Publication number (International publication number)：2006313146
Application date： Mar. 08, 2006
Publication date： Nov. 16, 2006
Summary：
【課題】成形体の表面の凹凸欠陥および色彩欠陥を、1度の撮像によって検出する。【解決手段】検査対象のワークの表面に対し、同軸落射照明用の照明部2Aと斜め入射照明用の照明部2Bとを同時に駆動して、その照明下でカメラ1による撮像を実行する。照明部2A,2Bには、それぞれR,G,Bの各色彩光を発光する光源21R,21G,21Bが設けられているが、照明部2Aについては、これら3種類の光源のうちの1種類のみを点灯させ、照明部2Bについては、照明部2Aで点灯しない1または2種類の光源を点灯させる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
所定の材料による成形体を検査対象として、その表面に欠陥が生じていないかどうかを検査する方法であって、 検査対象の成形体に所定方向から照明を施したときの前記成形体からの正反射光が入射するようにカラー画像生成用の撮像手段を設置し、前記成形体に対し、前記所定方向から3種類の光R,G,Bのうちのいずれか1種類を照射する第1の照明と、前記撮像手段の光軸に対して斜めになる方向から前記第1の照明で使用していない1または2種類の光を照射する第2の照明とを同時に実行しつつ、前記撮像手段による撮像を実行し、 前記撮像により得られたカラー画像を用いて、前記成形体の表面の凹凸欠陥および色彩欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (1)：
G01N 21/95
FI (1)：
G01N21/95 Z
F-Term (18)：
2G051AA90 ,  2G051AB12 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED21
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (13)
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