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J-GLOBAL ID：200903072755866179

圧電体薄膜素子及びインクジェット式記録ヘッド

Inventor：
島田 勝人

About 島田 勝人

, 
亀井 宏行

About 亀井 宏行

, 
高橋 哲司

About 高橋 哲司

, 
邱 宏

About 邱 宏


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  宮坂 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006166229
Publication number (International publication number)：2006324681
Application date： Jun. 15, 2006
Publication date： Nov. 30, 2006
Summary：
【課題】製造中に膜内にクラックの発生がなく、高い圧電ひずみ定数を有するとともに、下電極との密着性が良好である圧電体薄膜素子を提供する。さらに、このような圧電体薄膜素子を用いた高精細な印字が可能となるインクジェット記録ヘッドを提供することにある。【解決手段】多結晶体からなる圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される上電極と下電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、前記圧電体膜の結晶体が、前記電極面に対して略垂直方向に形成されてなる。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
多結晶体からなる圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される上電極と下電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、 前記圧電体膜の結晶体が、前記電極面に対して略垂直方向に形成されてなる圧電体薄膜素子。
IPC (8)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  C04B 35/49
FI (8)：
H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101E ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/18 101Z ,  C04B35/49 R
F-Term (36)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AG99 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G031AA03 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA14 ,  4G031AA32 ,  4G031AA40 ,  4G031BA10 ,  4G031CA01 ,  4G031CA02 ,  4G031CA04 ,  4G031CA05 ,  4G031CA08 ,  4G031GA01 ,  4G031GA02 ,  4G031GA04 ,  4G031GA06 ,  4G031GA11 ,  4K029BA50 ,  4K029BB08 ,  4K029BB10 ,  4K029BC00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029GA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 圧電/電歪アクチュエータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-087997   Applicant：日本碍子株式会社
  • 強誘電体薄膜の結晶配向性制御方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-057242   Applicant：三菱マテリアル株式会社
  • 特開平3-232755号公報
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Cited by examiner (9)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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