Pat
J-GLOBAL ID:200903075409742217
加速度センサ及びその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
大垣 孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006131755
Publication number (International publication number):2007303928
Application date: May. 10, 2006
Publication date: Nov. 22, 2007
Summary:
【課題】耐衝撃性を劣化させずに感度を向上させる。【解決手段】錘30と、台座20と、梁40と、ピエゾ抵抗素子50とを備えている。錘は、加速度を受けて変位する。台座は、錘の周囲に、錘と離間して配置されている。梁は、一端が錘に接続され、及び他端が台座に接続されている。ここで、梁は、厚膜部42と、厚膜部よりも厚みが薄い薄膜部44とを備えている。ピエゾ抵抗素子は、厚膜部と薄膜部とに渡って形成されている。【選択図】図2
Claim (excerpt):
加速度を受けて変位する錘と、
該錘の周囲に、該錘と離間して配置されている台座と、
一端が前記錘に接続され、及び他端が前記台座に接続された梁と
を備え、
前記梁は、厚膜部と該厚膜部よりも厚みが薄い薄膜部とを備えており、
ピエゾ抵抗素子が、前記厚膜部と前記薄膜部とに渡って形成されている
ことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2):
FI (2):
G01P15/12 D
, H01L29/84 A
F-Term (12):
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA27
, 4M112DA02
, 4M112DA04
, 4M112DA11
, 4M112EA06
, 4M112EA18
, 4M112FA01
, 4M112FA07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (10)
-
加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-166007
Applicant:沖電気工業株式会社
-
半導体加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-148979
Applicant:松下電工株式会社
-
半導体加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-331362
Applicant:松下電工株式会社
-
電気機械変換器とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-426011
Applicant:シチズン時計株式会社
-
特開平4-249727
-
特開昭60-256066
-
力検出センサ及び力検出センサの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-211580
Applicant:株式会社ニコン
-
半導体加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-346619
Applicant:日立金属株式会社
-
センサの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-135395
Applicant:株式会社東海理化電機製作所
-
加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-048648
Applicant:松下電工株式会社
Show all
Cited by examiner (10)
-
半導体加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-331362
Applicant:松下電工株式会社
-
電気機械変換器とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-426011
Applicant:シチズン時計株式会社
-
特開平4-249727
-
特開平4-249727
-
特開昭60-256066
-
特開昭60-256066
-
力検出センサ及び力検出センサの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-211580
Applicant:株式会社ニコン
-
半導体加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-346619
Applicant:日立金属株式会社
-
センサの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-135395
Applicant:株式会社東海理化電機製作所
-
加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-048648
Applicant:松下電工株式会社
Show all
Return to Previous Page