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J-GLOBAL ID：200903076190973770
インプリントリソグラフィ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006336452
Publication number (International publication number)：2007173806
Application date： Dec. 14, 2006
Publication date： Jul. 05, 2007
Summary：
【課題】インプリントリソグラフィにおいてテンプレートが基板上のインプリント可能な媒体内に圧入されるときテンプレートによりインプリントされる前に基板からインプリント可能媒体の一分が蒸発するという問題を解決できる装置を提供する。【解決手段】複数のインプリント用テンプレート40を保持するように構成されたテンプレートホルダ41と基板42を保持するように構成された基板ホルダ43とを備え、テンプレートホルダ41が基板ホルダ43の下に配置される、リソグラフィ装置が開示される。【選択図】図4b
Claim (excerpt)：
複数のインプリント用テンプレートを保持するように構成されたテンプレートホルダと基板を保持するように構成された基板ホルダとを備え、
前記テンプレートホルダは、前記基板ホルダの下に配置される、
リソグラフィ装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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