圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：井上一 , 布施行夫 , 大渕美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004277859
Publication number (International publication number)：2005150694
Application date： Sep. 24, 2004
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：

【課題】良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電体膜5は, A1-bB1-aXaO3の一般式で示され、 Aは、Pbを含み、 Bは、ZrおよびTiのうちの少なくとも一つからなり、 Xは、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWのうちの少なくとも一つからなり、 aは、0.05≦a≦0.3の範囲であり、 bは,0.025≦b≦0.15の範囲である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

A1-bB1-aXaO3の一般式で示され、 Aは、Pbを含み、 Bは、ZrおよびTiのうちの少なくとも一つからなり、 Xは、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWのうちの少なくとも一つからなり、 aは、0.05≦a≦0.3の範囲であり、 bは、0.025≦b≦0.15の範囲である、圧電体膜。

IPC (14)：

H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , C04B35/49 , F04B9/00 , H01L41/09 , H01L41/22 , H01L41/24 , H02N2/00 , H03B5/30 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H9/25

FI (17)：

H01L41/18 101C , C04B35/49 Z , F04B9/00 B , H02N2/00 B , H03B5/30 A , H03H9/145 C , H03H9/17 F , H03H9/25 C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101J , H01L41/08 C , H01L41/08 J , H01L41/08 L , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

F-Term (41)：

2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG42 , 2C057AG44 , 2C057AG59 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP51 , 2C057AP58 , 2C057AQ02 , 2C057BA03 , 2C057BA14 , 3H075AA00 , 3H075BB04 , 3H075CC25 , 3H075CC32 , 3H075CC36 , 3H075DA05 , 3H075DB02 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA13 , 4G031AA14 , 4G031AA15 , 4G031AA16 , 4G031AA17 , 4G031AA18 , 4G031AA32 , 4G031BA10 , 5J079AA08 , 5J079BA43 , 5J079HA06 , 5J079HA22 , 5J079KA08 , 5J097AA28 , 5J097EE08 , 5J097FF02 , 5J097KK09 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-030472 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (13)

圧電磁器組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-107141 Applicant：京セラ株式会社
圧電磁器の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-124511 Applicant：トヨタ自動車株式会社
電子デバイス用基板、電子デバイス用基板の製造方法および電子デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-362742 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Show all

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

第一原理計算によるPZTN系の電子状態に関する考察 First-principles study on electronic structure o
PZTN薄膜の結晶構造解析 Analyzed Crystal Structure of PZTN Thin Film
In-situ plasma emission optical spectroscopy during pulsed laser ablation deposition of PZTN thin fi

Show all

Return to Previous Page