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J-GLOBAL ID:200903086396386841

前駆体を含有するナノ粒子を用いた金属のパターニング方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (8): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2002550143
Publication number (International publication number):2004531875
Application date: Dec. 17, 2001
Publication date: Oct. 14, 2004
Summary:
放射線への露光により金属ナノ粒子含有フィルムから連続的な、導電金属パターンを形成することができる。このパターンは一次元、二次元または三次元で、高い解像度であり、ミクロンからナノメーターのオーダーの特徴サイズをもたらす。【選択図】図1
Claim (excerpt):
予備核形成した金属ナノ粒子の成長方法であって、 前記予備核形成した金属ナノ粒子を複合材にして提供し、 放射線への露光により金属イオンを還元することによって金属原子を生成し、 前記金属原子を前記予備核形成した金属ナノ粒子と反応させ、それによって金属ナノ粒子を成長させる ことを特徴とする方法。
IPC (2):
H05K3/10 ,  B82B3/00
FI (2):
H05K3/10 C ,  B82B3/00
F-Term (13):
5E343AA12 ,  5E343AA26 ,  5E343AA34 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB72 ,  5E343DD68 ,  5E343DD69 ,  5E343EE02 ,  5E343EE37 ,  5E343GG08 ,  5E343GG11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (24)
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