光学顕微鏡測定装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鹿島義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003388725
Publication number (International publication number)：2005147968
Application date： Nov. 19, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：

【課題】励起光を干渉させて回折格子を形成し、プローブ光を回折させて物性を測定する測定装置において、調整作業が容易な測定装置を提供する。【解決手段】光学顕微鏡本体21と、2本の励起光E1、E2がそれぞれの励起光E1、E2が対物レンズ32の異なる周縁部分を通過するようにして対物レンズ通過後に屈折するようにし、さらに屈折した2本の励起光E1、E2が測定点で交差するようにして干渉縞を生じさせることにより回折格子を誘起するようにした励起光入射光学系と、プローブ光Pが対物レンズ32の中央部分を通過するようにし、さらに対物レンズ通過後にプローブ光Pが測定点を通過するようにしたプローブ光入射光学系と、測定点を通過するプローブ光Pが回折格子によって回折されることにより得られる回折光を検出する検出器とを備え、回折光により試料の物性測定を行うことができるようにする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

対物レンズを用いて測定点近傍を光学的に観察する光学顕微鏡本体と、 2本の励起光が対物レンズの光軸に平行に入射するとともにそれぞれの励起光が対物レンズの異なる周縁部分を通過するようにして対物レンズ通過後に屈折するようにし、さらに屈折した2本の励起光が測定点で交差するようにして測定点近傍に干渉縞を生じさせることにより回折格子を誘起するようにした励起光入射光学系と、プローブ光が対物レンズの光軸に平行に入射するとともに対物レンズの中央部分を通過するようにし、さらに対物レンズ通過後にプローブ光が測定点を通過するようにしたプローブ光入射光学系と、測定点を通過するプローブ光が回折格子によって回折されることにより得られる回折光を検出する検出器とを備えたことを特徴とする光学顕微鏡測定装置。

IPC (2)：

G01N21/47 , G02B21/06

FI (2)：

G01N21/47 A , G02B21/06

F-Term (25)：

2G059AA02 , 2G059AA03 , 2G059BB14 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059JJ02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059KK04 , 2H052AA09 , 2H052AB03 , 2H052AC07 , 2H052AC30 , 2H052AC34 , 2H052AD06 , 2H052AD16 , 2H052AD20 , 2H052AF02 , 2H052AF06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

構造物の性質を測定する装置及び方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-551218 Applicant：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
顕微鏡の全反射照明装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-341007 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
回転式輪帯全反射照明機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-325773 Applicant：科学技術振興事業団

光熱変換分光分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-035105 Applicant：株式会社分子バイオホトニクス研究所

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-268307 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

光学式顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-253558 Applicant：株式会社ミツトヨ

光熱変換分光分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-312189 Applicant：株式会社分子バイオホトニクス研究所

光熱変換分光分析方法とその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-184450 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー

過渡回折格子分光法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-325747 Applicant：新技術事業団, 伊東孝之

二重共鳴吸収顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-082890 Applicant：オリンパス光学工業株式会社, 株式会社日本ローパー, 科学技術振興事業団

共焦点顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-087255 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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Cited by examiner (2)

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