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J-GLOBAL ID：200903090609117456

収差補正器付電子線装置

Inventor：
川▲崎▼ 猛

About 川▲崎▼ 猛

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吉田 高穂

About 吉田 高穂

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小瀬 洋一

About 小瀬 洋一

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戸所 秀男

About 戸所 秀男


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 特許業務法人 日東国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006088092
Publication number (International publication number)：2006179504
Application date： Mar. 28, 2006
Publication date： Jul. 06, 2006
Summary：
【課題】多極子レンズを使用する収差補正器付電子線装置は、光軸調整の際に収差補正器単体の軸合わせ不良と収差補正器以外の部分での軸合わせ不良が、渾然として切り分けがつかず、調整に時間がかかる。【解決手段】収差補正器を動作させる走査モードと、動作させない走査モードをもち、その両方で対物レンズの物点位置が変わらないように収差補正器、コンデンサーレンズ等の動作を制御する。両モードで試料の2次電子像を比較すれば像倍率やフォーカスは変わらず、収差補正器の効果のみを切り分けて評価、調整でき、軸調整時間の短縮が図れる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
電子銃と、コンデンサーレンズと、複数個の多極子レンズを組み合わせて対物レンズの色収差あるいは球面収差あるいはその両方を同時に相殺するよう機能する収差補正器と、電子ビームを試料表面に収束させる対物レンズと、収束された電子ビームを試料面上を走査させるための走査コイルと、前記各レンズおよび収差補正器を制御するコンピュータとを備えた収差補正器付電子線装置において、前記コンピュータは収差補正器を動作させる走査モードと、収差補正器を動作させない走査モードとを持ち、いずれのモードでも対物レンズの物点位置が実質的に変わらないように、前記各レンズおよび収差補正器を制御することを特徴とする収差補正器付電子線装置。
IPC (3)：
H01J 37/153 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/04
FI (3)：
H01J37/153 B ,  H01J37/21 B ,  H01J37/04 B
F-Term (7)：
5C030AA06 ,  5C030AB02 ,  5C030AB03 ,  5C033JJ01 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM03 ,  5C033MM07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 荷電粒子線装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-368943   Applicant：株式会社日立製作所
Cited by examiner (11)
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