パターニング方法、膜形成方法、パターニング装置、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置とその製造方法、電子装置とその製造方法、及び電子機器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上柳雅誉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002264522
Publication number (International publication number)：2003187974
Application date： Sep. 10, 2002
Publication date： Jul. 04, 2003
Summary：

【要約】【課題】特に材料の選択自由度を高くした新たなパターニング方法を提供するとともに、膜形成方法、前記パターニング方法を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とカラーフィルタの製造方法、さらには電気光学装置とその製造方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】第1の基体(透明基板121)の上方に材料層10を配置し、この材料層10に光線を照射することにより、材料層10の材料を第1の基体(透明基板121)上に移行させて所望パターンの材料部を形成する。また、レーザー光を受容層上の材料層に照射することにより該受容層内に該材料層の材料を注入し(レーザードープ法)、該受容層に所望の機能を付与する。

Claim (excerpt)：

第1の基体の上方に材料層を配置し、該材料層に光線を照射することにより、該材料層の材料を第1の基体上に移行させて所望パターンの材料部を形成することを特徴とするパターニング方法。

IPC (4)：

H05B 33/10 , G02B 5/20 101 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (4)：

H05B 33/10 , G02B 5/20 101 , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

F-Term (7)：

2H048BA02 , 2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01

Patent cited by the Patent：

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-196057 Applicant：カシオ計算機株式会社
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