Pat
J-GLOBAL ID：200903091230478644
弾性表面波素子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
片山 修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003136511
Publication number (International publication number)：2004343359
Application date： May. 14, 2003
Publication date： Dec. 02, 2004
Summary：
【課題】圧電基板の電気機械結合係数を維持し、且つ周波数温度特性を改善した、容易に製造できる弾性表面波素子の製造方法を提供する。【解決手段】圧電基板10と支持基板20を洗浄して接合面の不純物X1及びX2を除去して乾燥処理した後、不活性ガス又は酸素のイオンビーム、中性化ビーム又はプラズマ等を少なくとも一方の接合面に照射することで、残留した不純物X11及びX21を除去すると共に表層を活性化させる。次に、活性化した接合面が向かい合うように、圧電基板10と支持基板20とを貼り合わせる。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
圧電基板と支持基板とが接合された接合基板上に櫛形電極と電極パッドと配線パターンとを含んでなる弾性表面波フィルタが形成された弾性表面波素子を製造する製造方法において、
前記圧電基板と前記支持基板との接合面のうち少なくとも一方に活性化処理を施す第1の工程と、
前記第1の工程で活性化した接合面が向かい合うように前記圧電基板と前記支持基板とを接合する第2の工程と
を有することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
IPC (6)：
H03H3/08
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/22
, H03H9/25
, H03H9/64
H03H3/08
, H03H9/25 C
, H03H9/64 Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
5J097AA06
, 5J097AA13
, 5J097BB15
, 5J097EE08
, 5J097FF01
, 5J097FF05
, 5J097GG03
, 5J097GG05
, 5J097HA03
, 5J097KK03
, 5J097KK10
Cited by examiner (10)
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弾性表面波素子とその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-259104
Applicant：松下電器産業株式会社
-
表面弾性波素子
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-071586
Applicant：松下電器産業株式会社
-
ガラス接合圧電基板の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-140893
Applicant：松下電器産業株式会社
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