Pat
J-GLOBAL ID:200903095062429697
基板搬送移載装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小池 隆彌
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997292117
Publication number (International publication number):1999130255
Application date: Oct. 24, 1997
Publication date: May. 18, 1999
Summary:
【要約】【課題】 同時に多数の基板を処理できる基板処理装置複数台に対して基板カセットのピッチと異なるピッチで複数の基板を同時に搬入、搬出でき、搬送効率のよい基板搬送移載装置を提供する。【解決手段】 複数の基板4を搭載できる搬送台車1は、軌道2上を自由に往復することができ、該軌道2に対して垂直に複数台の真空処理装置8と基板バッファが設置される。搬送台車1に搭載されている基板ローダの基板を支持するピッチと、真空処理装置8内の基板のピッチと基板バッファの基板ピッチは同じピッチになっており、同時に複数の基板4を受け渡しすることができる。また基板カセット3と搬送台車1間の基板4の搬送は基板移載ロボット5によって行われ、搬送台車1は軌道2上を移動し、各真空処理装置8に対して、複数の処理済み基板を同時に搬出し、複数の未処理基板を同時に搬出を同時に行うことができる。
Claim (excerpt):
装置間の基板の搬送および移載を行う基板搬送移載装置において、複数の基板を保持する基板保持手段と、複数の基板を同時に受け渡しできる基板受け渡し手段と、前記基板保持手段と前記基板受け渡し手段を搭載し、所定の軌道上を走行する移動手段とを具備し、前記基板保持手段として、複数の基板を保持する基板支持部材をもつ基板ローダを有し、該基板ローダの基板保持ピッチが該基板ローダと基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置の基板保持ピッチと同じであることを特徴とする基板搬送移載装置。
IPC (2):
FI (2):
B65G 49/07 L
, H01L 21/68 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (13)
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特開平2-031440
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特開平4-061146
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基板処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-295410
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
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液晶パネルの吸着装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-169661
Applicant:東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
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特開平4-010553
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特開平4-364752
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ハンドリングシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-274720
Applicant:安藤電気株式会社
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搬送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-154337
Applicant:東京エレクトロン東北株式会社
-
搬送フォーク
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-080683
Applicant:株式会社安川電機
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ウエハー支持装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-190644
Applicant:株式会社荏原製作所
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基板搬送装置及び基板搬送方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-125718
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
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搬送方法および搬送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-172672
Applicant:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
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基板処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-225909
Applicant:キヤノン販売株式会社, キヤノン株式会社
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Cited by examiner (20)
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特開平2-031440
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特開平2-031440
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特開平2-031440
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特開平4-061146
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特開平4-061146
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特開平4-061146
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基板処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-295410
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
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液晶パネルの吸着装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-169661
Applicant:東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
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特開平4-010553
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特開平4-010553
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特開平4-010553
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特開平4-364752
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特開平4-364752
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特開平4-364752
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ハンドリングシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-274720
Applicant:安藤電気株式会社
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搬送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-154337
Applicant:東京エレクトロン東北株式会社
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特開平2-031440
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特開平4-061146
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特開平4-010553
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特開平4-364752
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