Pat
J-GLOBAL ID：200903095062429697

基板搬送移載装置

Inventor：
田寺 孝光

About 田寺 孝光

, 
垣脇 成光

About 垣脇 成光


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 小池 隆彌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997292117
Publication number (International publication number)：1999130255
Application date： Oct. 24, 1997
Publication date： May. 18, 1999
Summary：
【要約】【課題】 同時に多数の基板を処理できる基板処理装置複数台に対して基板カセットのピッチと異なるピッチで複数の基板を同時に搬入、搬出でき、搬送効率のよい基板搬送移載装置を提供する。【解決手段】 複数の基板4を搭載できる搬送台車1は、軌道2上を自由に往復することができ、該軌道2に対して垂直に複数台の真空処理装置8と基板バッファが設置される。搬送台車1に搭載されている基板ローダの基板を支持するピッチと、真空処理装置8内の基板のピッチと基板バッファの基板ピッチは同じピッチになっており、同時に複数の基板4を受け渡しすることができる。また基板カセット3と搬送台車1間の基板4の搬送は基板移載ロボット5によって行われ、搬送台車1は軌道2上を移動し、各真空処理装置8に対して、複数の処理済み基板を同時に搬出し、複数の未処理基板を同時に搬出を同時に行うことができる。
Claim (excerpt)：
装置間の基板の搬送および移載を行う基板搬送移載装置において、複数の基板を保持する基板保持手段と、複数の基板を同時に受け渡しできる基板受け渡し手段と、前記基板保持手段と前記基板受け渡し手段を搭載し、所定の軌道上を走行する移動手段とを具備し、前記基板保持手段として、複数の基板を保持する基板支持部材をもつ基板ローダを有し、該基板ローダの基板保持ピッチが該基板ローダと基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置の基板保持ピッチと同じであることを特徴とする基板搬送移載装置。
IPC (2)：
B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (2)：
B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (13)
  • 特開平2-031440
  • 特開平4-061146
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-295410   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
Show all
Cited by examiner (20)
  • 特開平2-031440
  • 特開平2-031440
  • 特開平2-031440
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM