ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物、並びに、液晶表示装置用部材

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人特許事務所サイクス
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008173030
Publication number (International publication number)：2010013514
Application date： Jul. 02, 2008
Publication date： Jan. 21, 2010
Summary：

【課題】加熱硬化後のインプリント性、基板密着性、耐熱性および表面硬度に総合的に優れたナノインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】A)シランカップリング剤、B)高分子ケイ素化合物、C)光重合性単量体およびD)光重合開始剤を含有することを特徴とする光ナノインプリント用組成物。A)シランカップリング剤が重合性基を含有し、B)高分子ケイ素化合物が、シルセスキオキサンである、光ナノインプリント用組成物。A)シランカップリング剤が重合性基を含有する光ナノインプリント用組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

A)シランカップリング剤、 B)高分子ケイ素化合物、 C)光重合性単量体および D)光重合開始剤を含有することを特徴とする光ナノインプリント用組成物。

IPC (4)：

C08F 290/00 , H01L 21/027 , B29C 59/02 , G02F 1/133

FI (4)：

C08F290/00 , H01L21/30 502D , B29C59/02 Z , G02F1/1339 500

F-Term (48)：

2H189DA06 , 2H189DA22 , 2H189EA06X , 2H189FA16 , 2H189GA10 , 2H189HA12 , 2H189LA06 , 2H189LA10 , 2H189LA14 , 4F209AA33 , 4F209AA43 , 4F209AA44 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127BB041 , 4J127BB081 , 4J127BB131 , 4J127BB221 , 4J127BC011 , 4J127BD301 , 4J127BD311 , 4J127BD331 , 4J127BE59Y , 4J127BE591 , 4J127BF71Y , 4J127BF711 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG38Y , 4J127BG381 , 4J127CA02 , 4J127CB151 , 4J127CB153 , 4J127CB342 , 4J127CB393 , 4J127CC033 , 4J127CC113 , 4J127CC163 , 4J127CC391 , 4J127FA00 , 4J127FA17 , 4J127FA21 , 5F046AA28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (25)

米国特許第5,772,905号公報
ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-144437 Applicant：東京応化工業株式会社
液晶素子製造用ポジ型ホトレジスト塗布液及びそれを用いた基材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-358912 Applicant：東京応化工業株式会社

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