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J-GLOBAL ID：201003020909110030

樹脂被覆方法および樹脂被覆装置

Inventor：
関家 一馬

About 関家 一馬

, 
小野寺 寛

About 小野寺 寛

, 
下谷 誠

About 下谷 誠


Applicant, Patent owner：
株式会社ディスコ

About 株式会社ディスコ


Agent (1)： 末成 幹生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008333750
Publication number (International publication number)：2010155297
Application date： Dec. 26, 2008
Publication date： Jul. 15, 2010
Summary：
【課題】ワークのうねりや反りが適切に除去され、研削後のワークが、重力を考慮した厳密な平坦に形成され得る樹脂被覆方法および装置を提供する。【解決手段】押圧パッド23の吸着部24の吸着面24aにウェーハ1の表面1aを吸着して、ウェーハ1の変形を矯正する。次に、矯正状態のウェーハ1を液状の樹脂P1上に載置して押圧し、この後、押圧パッド23をウェーハ1から離反させてウェーハ1に反り等が戻る変形を起こさせてから、樹脂P1を硬化させる。矯正状態から樹脂P1上で変形させることにより重力での変形はさせず、研削後に厳密な平坦状態を得る。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
うねりや反り等の変形要素を含む薄板状ワークの一の面を研削して平坦に加工するために該ワークの他の面に樹脂を被覆する樹脂被覆方法であって、 平坦面に、前記ワークの前記一の面を密着させた状態で該ワークを保持し、前記変形要素を矯正して該ワークを平坦とするワーク矯正工程と、 外的刺激によって硬化する硬化性樹脂上に、前記矯正工程で矯正された状態の前記ワークを、前記他の面が該樹脂に密着する状態に載置するワーク載置工程と、 前記ワークの前記一の面から前記平坦面を離反させる平坦面離反工程と、 外的刺激付与手段によって前記硬化性樹脂に刺激を付与して該樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、を少なくとも備えることを特徴とする樹脂被覆方法。
IPC (2)：
B24B 41/06 ,  H01L 21/304
FI (2)：
B24B41/06 L ,  H01L21/304 622J
F-Term (2)：
3C034AA08 ,  3C034BB73
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (5)
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